杭州晶驰机电科技有限公司
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杭州晶驰机电科技有限公司成立于2021年7月,公司总部与研发中心位于杭州市萧山区浙江大学杭州国际科创中心孵化中心,办公面积约1000㎡。
公司以成为全球先进材料制造装备**者为愿景,以解决国外对我国半导体设备技术卡脖子问题,提升中国先进材料制造能力,实现国产替代进口为使命,致力于碳化硅、金刚石、氮化铝、氧化镓等第三、四代半导体材料装备的研发、生产、销售和应用推广。
目前公司产品包括6英寸、8英寸水平进气和6英寸及8英寸兼容型垂直进气碳化硅外延设备(LPCVD 法),金刚石生长设备(MPCVD 法),金刚石外延设备、氮化铝长晶设备,碳化硅源粉合成炉,氧化镓单晶生长炉(导模法、CZ法),各种晶体和晶片热处理炉。